一、微小流量热式气体质量流量计概述
微小流量热式气体质量流量计采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS（ Microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
微小流量热式气体质量流量计能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。
二、微小流量热式气体质量流量计技术参数
1、测量介质：空气，氮气，二氧化碳，氩气，氧气，氢气，氦气
2、流量范围： DN2：20-10000 mL/min；DN3：1000-30000 mL/min
(1)以上流量的测量介质为空气而言；
(2)以上流量的标准状态20℃，101.325kPa。
(3) 每个口径量程范围均可扩大
(4)特殊需要可联系厂家单独标定
3、最大允许误差：±1.5%FS
4、精度保证温度：15-35℃；
5、工作压力范围：
MFM:工作压力≦1MPa  耐压：3MPa
MFC：工作压差：
≦1L/min：0.05-0.3MPa
1-30L/min：0.1-0.3MPa
耐压：3MPa
6、供电电源：24VDC
7、输入信号：0-5VDC,  RS485通讯
8、输出信号：4-20mA，RS485通讯；
9、环境温度：5-45℃；
10、显示位数：瞬时流量为6位，累积流量8位。
三、微小流量热式气体质量流量计特点
1、产品集成度高，集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体，并可实现自动调节、控制阀门。
2、μf微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产技术和材料加工技术，使流量计的微流量测量灵敏度显著提升。
3、微小流量气体测量，ml/min级的微流量测控，实现微小流量测量的数字化。
4、单个芯片的卓越流量特性的微处理技术，使流量计的量程范围大大提高。
5、机电一体化优化设计，智能化的数据处理技术，使流量计具有更好的重复性，实现了计量的准确、可靠。
5、结构的优化，MFM流量计的压力损失达到最小化。
6、采用国际最新的MF传感技术，使流量计工作更稳定、可靠。
7、独创零点自校功能，测量更准确。
8、多种气体实际标定，全量程补偿。
9、快速响应、数据自动存储，配合上位机可实现网络集中管理。
10、规格齐全，量程范围宽，可根据用户要求单独标定。
11、精度等级高，满足用户高精度测量要求。
12、独有的流量计报警功能，使监控更可靠。
13、操作、设置界面友好、简便，可根据需要自行设定相关参数。
14、运用行业多，是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代的首选。